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2000μm大行程压电纳米定位台P15系列 纳米级超精密位移台专业制造商-辽宁研生

一至三维超大行程纳米级精密平移台║P15系列超大行程达2000µm

产品特点:

◆ 超大行程达2000µm;

◆ 采用无摩擦高精度柔性铰链导向系统,有效消除侧向运动分量;

◆ 内置高性能的压电陶瓷,高可靠性;

◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈,开/闭环可供选择。


产品应用:

显微光学 • 半导体测试 • 干涉测量 • 纳米定位 • 生物技术 • 微加工 • 微操作


配套压电控制器 模块化控制器E5系列


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研生公司的纳米级精密定位产品类型丰富,运动自由度从一维至六维[X,Y,Z,θX, θY,θZ],运动行程从几微米至几千微米,承载能力从几百克至几百千克,推/拉力从几牛顿至几千牛顿,具有多种结构类型如叠堆式结构、嵌套式结构以及性能更优异的并联式结构等,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,主要技术指标已达到国际先进水平,可完美地替代进口产品。


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